石英舟作为硅片分散的载体，在分散完毕后，石英舟的表面会发生残留物，需求进行清洗，以防止再次运用时污染硅片，然后避免残留物影响硅片的分散作用。现在，石英舟的清洗方法一般为药液浸泡，即将石英舟放置于盛放清洗液的容器中，石英舟与清洗液之间无相对运动，石英舟得不到全面的清洗，清洗作用差。

    现有技能中，为处理石英舟清洗作用差的问题，在清洗容器的两个相对设置的侧壁上设置有夹具，夹具能够相对侧壁滚动，夹具夹持石英舟的两端，并带动石英舟滚动，然后提高石英舟的清洗作用。

    但上述结构中，经过夹具夹持石英舟，夹具的夹持力欠好控制，容易损坏石英舟；且清洗容器仅能放置一个石英舟，清洗效率低。

   一种石英舟清洗设备，包含：

    槽体，所述槽体的上端开口，用于盛放清洗药液；

    底部支撑结构，设置于所述槽体的内部；

    中部支撑结构，设置于所述槽体的内部并坐落所述底部支撑结构的上方，所述中部支撑结构能够调整与所述底部支撑结构的相对位置，以向所述底部支撑结构上放置石英舟；

    所述底部支撑结构和所述中部支撑结构均用于支撑石英舟。

    其间，所述中部支撑结构包含中部支架及两个支撑架，两个所述支撑架起置于所述槽体相对的两个第一内壁，所述中部支架与所述槽体的第二内壁滚动衔接，并能够搭接于所述支撑架，所述第二内壁与所述第一内壁相邻。

    其间，所述中部支架包含两个相对设置的U型支架，所述U型支架的两个端部与所述第二内壁滚动衔接。

    上述是小编给咱们讲述的运用运用是如何清洗的，咱们能够简略的了解看看，需求咨询的能够联络咱们。