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使用使用是如何清洗的呢?
编辑:东海县鸿翔石英制品有限公司   时间:2019-07-04

    石英舟作为硅片分散的载体,在分散完毕后,石英舟的表面会发生残留物,需求进行清洗,以防止再次运用时污染硅片,然后避免残留物影响硅片的分散作用。现在,石英舟的清洗方法一般为药液浸泡,即将石英舟放置于盛放清洗液的容器中,石英舟与清洗液之间无相对运动,石英舟得不到全面的清洗,清洗作用差。

    现有技能中,为处理石英舟清洗作用差的问题,在清洗容器的两个相对设置的侧壁上设置有夹具,夹具能够相对侧壁滚动,夹具夹持石英舟的两端,并带动石英舟滚动,然后提高石英舟的清洗作用。

    但上述结构中,经过夹具夹持石英舟,夹具的夹持力欠好控制,容易损坏石英舟;且清洗容器仅能放置一个石英舟,清洗效率低。

   一种石英舟清洗设备,包含:

    槽体,所述槽体的上端开口,用于盛放清洗药液;

    底部支撑结构,设置于所述槽体的内部;

    中部支撑结构,设置于所述槽体的内部并坐落所述底部支撑结构的上方,所述中部支撑结构能够调整与所述底部支撑结构的相对位置,以向所述底部支撑结构上放置石英舟;

    所述底部支撑结构和所述中部支撑结构均用于支撑石英舟。

    其间,所述中部支撑结构包含中部支架及两个支撑架,两个所述支撑架起置于所述槽体相对的两个第一内壁,所述中部支架与所述槽体的第二内壁滚动衔接,并能够搭接于所述支撑架,所述第二内壁与所述第一内壁相邻。

    其间,所述中部支架包含两个相对设置的U型支架,所述U型支架的两个端部与所述第二内壁滚动衔接。

    上述是小编给咱们讲述的运用运用是如何清洗的,咱们能够简略的了解看看,需求咨询的能够联络咱们。


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