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浅谈下石英炉管的制作方法
编辑:东海县鸿翔石英制品有限公司   时间:2019-05-16

    为了战胜现有技能中现有的石英炉管进气方法气体流场不均匀,掺杂原子在反应室内散布不均匀,简单形成炉口分散方阻偏高,炉尾分散方阻偏低,因热场与气流散布不均也导致了分散后硅片片内与片间的均匀性相对较差,分散炉管与炉门间密合度一般,炉口简单漏气,扰乱了炉内气流,简单导致炉口分散方阻偏高或分散方阻均匀性较差的问题,供给一种分散炉用石英炉管。

    本实用新型处理其技能问题所选用的技能方案是:一种分散炉用石英炉管,包括管体,所述管体一端的炉口处设置有炉门,所述炉门与所述炉口之间选用双层密封结构,所述炉门与管体连通的面上开设有导流槽,所述导流槽的底面为球面,所述管体另一端的炉尾端面的中心设置有尾气管,所述炉尾端面上圆周均布有若干进气管,所述进气管穿过所述管体内部,在炉口处与炉门相对设置。

    本实用新型在炉门与炉口之间选用双层密封结构,气体不简单从炉口处走漏,提升了密封作用,减少了反应室内气体扰动,减少了炉口热量丢失;

    炉门上设置底面呈球面的导流槽,进气管穿过管体内部,在炉口处与炉门相对设置,当气体从进气管进入管体后,气体从进气管内喷出,直接喷向导流槽的底面,导流槽的底面为球面,喷向导流槽的气体通过导流槽底面的反弹后充满整个管体,并向炉尾流动,终究从炉尾中心的尾气管排出。

    以上是小编给咱们叙述的石英炉管的制作方法,大咱们能够简单的了解看看。内容仅供参考,想要了解更多关于石英炉管的问题能够咨询咱们厂家。



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